1200℃管式炉CVD系统

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产品名称

1200℃单温区经济型两路气体CVD系统

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常规型号

SGM-O1200-50IC150-D2FH

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SGM-O1200-60IC150-D2FH

4

SGM-O1200-80IC150-D2FH

5

SGM-O1200-100IC150-D2FH

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炉膛模式

开启式

7

显示模式

高亮数码管显示(LED)

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炉膛材料

进口纤维

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加热元件

进口合金加热丝

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极限温度

1200℃

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工作温度

≤1150℃

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升温速率

≤20℃(建议:10℃/min)

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加热温区

单温区

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温区长度

440mm

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恒温区长

200mm

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炉管材质

高纯石英

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炉管常规直径

50mm

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60mm

19

80mm

20

100mm

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炉管长度

1000mm

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密封方式

不锈钢真空法兰

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气 密 性

真空法兰和石英炉管的气密性*高可达4.03×10-3Pa

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控制模式

智能PID多段程序控温

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控温精度

±1℃

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温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

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预存曲线

可预存1条温度曲线

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电流监控

指针式电流计

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电压监控

指针式电压计

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超温报警

有

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过流保护

有

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断偶提示

有

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测温元件

K型热电偶

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电气认证

CE认证

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供电电源

220V 50Hz～60Hz

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整机功率

2.5KW

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气体通道

可连接3种气源

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流 量 计

浮子流量计

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A路量程

10～100ml/min

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B路量程

16～160ml/min

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气路压力

-0.1～0.15 MPa

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系统真空 

5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）

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泵路链接

KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀

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真 空 计

标准配置机械真空计，也可选配电子真空计

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售后服务

12个月质保，终身保修

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包装形式

木箱或简装

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随机配件

石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。

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整套尺寸

左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm